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简要描述:检测气体:四氯化钛-TICL4 检测方式:固定、在线检测,扩散式测量、泵吸式、流通式可选 测量范围:0-20ppm,0-100ppm;0-200ppm(半导体) 分辨率 :0.1ppm(0-20/100ppm);≤1ppm(0-200ppm)
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