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简要描述:检测气体:四氯化硅-SICL4 检测方式:固定、在线检测,扩散式测量、泵吸式、流通式可选 测量范围:0-20ppm;0-100ppm;0-200ppm 分辨率 :0.1ppm(0-20ppm);≤1ppm(0-200ppm) 精 度:±3%FS
产品型号:JSA5-SICL4-A
更新时间:2022-12-29
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